反射法测量偏心是指在反射光模式下，旋转样品，测定样品的中心偏。
反射模式下光从光电自准直仪发出，十字线像聚焦到样品曲率中心，图像经透镜反射，成像于CCD光敏面上，反映了以基准轴和旋转倾斜面为基准的单独偏心差。
一般地我们在机械结构上建立参考轴（普通机械以V槽和被测件的外圆所确定的参考轴，气浮结构则选取气浮主轴的旋转轴）。参考轴的位置由两点定义，一点是透镜下表面的曲率中心，另一点则是定义的参考平面的交点。在使用反射法测量上表面的中心偏时，其结果表示为该表面与上述所谓参考轴的倾斜误差。
反射法是唯一的可以全面且真实的反映中心偏的测量方法，但是在很多情况下，反射法测量的操作实现较为困难。
